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這些無油隔膜泵是一類非常強(qiáng)勁的泵，用于抽取非腐蝕性氣體。三級(jí)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)既有非常大的抽氣速度，又有非常好的真空，可達(dá)2 mbar，VARIO®型號(hào)的泵可以達(dá)到1.5mbar。它可實(shí)現(xiàn)真空控制，整機(jī)由真空泵和帶外置傳感器的CVC 3000真空控制器組成。用于分子泵的前級(jí)泵時(shí)，它可以持續(xù)地調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速達(dá)到前級(jí)真空。高柔韌性的纖維增強(qiáng)的雙層膜片采用FKM材質(zhì)，具有很長的壽命，在電機(jī)速度可控的模式下可近一步延長運(yùn)行壽命。像所有的VACUUBRAND隔膜泵一樣，他們產(chǎn)生一個(gè)無油潔凈的真空，而在工作過程中不會(huì)產(chǎn)生任何滑動(dòng)密封，避免了如同渦旋泵或柱塞泵等會(huì)產(chǎn)生顆粒雜質(zhì)的狀況。
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